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    小流量氣體流量計


    微管型質量流量計傳感器采用微機械加工技術,實現微小流量測量,其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償,廣泛應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

                   

    工作原理:

    感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作,在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的特有工藝制作的鏤空橋面上,采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態響應時間大大提高,當傳感器工作時,微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布,如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

                                                      

    式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

    產品特點:

    ·產品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現自動調節、控制閥門

    ·微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

    ·微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現微小流量測量的數字化

    ·單個芯片的卓越流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍大大提高

    ·機電一體化優化設計,智能化的數據處理技術,使流量計具有更好的重復性,實現了計量的準確、可靠

    ·結構的優化,流量計的壓力損失達到*小化

    ·采用國際*新的傳感技術,使流量計工作更穩定、可靠

    ·開創零點自校功能,測量更準確

    ·多種氣體實際標定,全量程補償

    ·快速響應、數據自動存儲,配合上位機可實現網絡集中管理

    ·規格齊全,量程范圍寬,可根據用戶要求單獨標定

    ·精度等級高,滿足用戶高精度測量要求

    ·獨有的流量計報警功能,使監控更可靠

    ·操作、設置界面友好、簡便,可根據需要自行設定相關參數

    ·運用行業多,是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的優選

    技術參數:

    ·測量介質:各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

    ·測量管徑:DN3,46810,12,18

    ·流量范圍:30、50、100、300、500、1000sccm
                            1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM

    ·流量測量準確度:±1.5%FS,±2.5%FS

    ·工作溫度范圍:-25-55

    ·工作壓力范圍:0.3MPa0.6MPa1.0MPa,3.0MPa

    ·供電電源:24VDC±10%

    ·輸出信號:4-20mARS485通訊

    ·環境溫度:-25-55

    外觀尺寸

                    

     

    L

    D

    H

    G

    DN3

    74

    30

    127

    G1/8

    DN6

    74

    30

    127

    G1/4

    DN8

    90

    30

    127

    G3/8

    DN10

    130

    35

    127

    G1/2

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